В России создадут полигоны для испытаний оборудования по выпуску микроэлектроники

Минпромторг, Минобрнауки, производители полупроводников и профильные вузы России создадут полигоны для тестирования оборудования, необходимого в производстве микроэлектроники.

Это должно ускорить начало серийного выпуска «железа» российского производства. Строительство каждого каждого полигона может стоить свыше 5 млрд руб. Один из технологических полигонов появится на базе «Московского института электронной техники» где переоборудуют один из корпусов, рассказал «Ъ» проректор вуза Алексей Переверзев.

Речь идёт о размещении на полигонах технологического, научного и контрольно-измерительного оборудования, к которому относятся литографические установки, анализаторы цепей и прочие инструменты, необходимые в производстве полупроводников. На площадке также будет предусмотрены системы для подачи особо чистых жидкостей, химии и газов. Всё это должно ускорить запуск серийного производства установок для полупроводников.

Полигон будет решать проблему отладки и тестирования оборудования. «Если тестировать и донастраивать установки на действующих российских полупроводниковых заводах, которых в стране не так много, то придется нарушать технологические процессы, останавливать производство», — пояснил «Коммерсанту» гендиректор «Зеленоградского нанотехнологического центра» Анатолий Ковалев. По его словам, использование тестовых полигонов примерно на год ускорит начало серийного выпуска установок.